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蝕刻工藝與環(huán)保技術(shù) 發(fā)表時(shí)間：2025-04-14

蝕刻工藝的環(huán)境影響倒逼技術(shù)創(chuàng)新，從有害物質(zhì)替代到資源回收，行業(yè)正走向綠色制造。

蝕刻氣體的替代方案

  • 全氟化合物（PFCs）減排：CF?、C?F?等氣體溫室效應(yīng)是CO?的數(shù)千倍，新型氣體如C?F??O（介電質(zhì)蝕刻）可降低90%排放。

  • 無氟蝕刻技術(shù)：采用Cl?/N?混合氣體蝕刻硅，通過側(cè)壁氮化硅鈍化層實(shí)現(xiàn)高深寬比結(jié)構(gòu)。

廢液回收與循環(huán)利用

  • 銅蝕刻液再生：電解回收法將廢液中Cu2+還原為金屬銅，再生效率達(dá)85%。

  • 酸霧抑制技術(shù)：在濕法蝕刻槽添加表面活性劑，減少HF酸揮發(fā)，保護(hù)工人健康。

設(shè)備能效優(yōu)化方向

  • 低功率等離子體源：通過ECR（電子回旋共振）技術(shù)提升離化率，功耗降低40%。

  • 余熱回收系統(tǒng)：將蝕刻腔體冷卻水熱量用于工廠供暖，減少能源浪費(fèi)。